[发明专利]发光二极管外延片的制备方法有效
| 申请号： | 202010602786.X | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN112002786B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;王群;郭炳磊;吕蒙普;胡加辉;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 吕耀萍 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种发光二极管外延片的制备方法，属于半导体技术领域。制备方法包括：提供反应室；将蓝宝石衬底放入凹槽内，并转动石墨盘；通过多个第一出气口向反应室内通入Ga源和载气，通过多个第二出气口向反应室内通入NH |
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| 搜索关键词： | 发光二极管 外延 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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