[发明专利]可调谐激光器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010602019.9 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111711071B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 剌晓波;梁松;唐强;刘云龙;张立晨;朱旭愿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/125 | 分类号： | H01S5/125;H01S5/227;H01S5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种可调谐激光器及其制作方法，所述可调谐激光器包括位于同一衬底上、等高且贴合的增益区和分布式布拉格反射区；其中，增益区和分布式布拉格反射区，分别为双台脊波导结构，包括下台脊波导和上台脊波导；所述增益区的下台脊波导和分布式布拉格反射区的下台脊波导分别自下而上依次包括光斑放大层、间隔层和有源层；所述增益区的上台脊波导和分布式布拉格反射区的上台脊波导分别自下而上包括包层和盖层；其中，所述增益区的上台脊波导为楔形波导；所述分布式布拉格反射区的上台脊波导为侧壁光栅波导。本发明的可调谐激光器在实现波长调谐的功能的同时可以放大激光器端面的光斑尺寸，提高激光器与光纤的耦合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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