[发明专利]一种多枝状类雪花片结构的金属卤化物钙钛矿忆阻器在审
申请号: | 202010577510.0 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111816765A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 黄安平;陈学良 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C01G29/00 |
代理公司: | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人: | 王顺荣;唐爱华 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明所述的一种多枝状类雪花片结构的金属卤化物钙钛矿忆阻器,该结构由顶电极层,金属卤化物钙钛矿层、底电极层以及衬底层构成。顶电极层为金或银纳米线,纳米线直径70nm,长度为20μm;阻变层为多枝状类雪花片结构的金属卤化物钙钛矿层,厚度为100‑200nm;底电极层主要为铂,厚度为30~70nm;衬底层,厚度为520~530μm。本发明具有如下优点:制备了一种多枝状类雪花片结构的金属卤化物钙钛矿,该结构可有效控制阻变过程粒子的迁移路径,降低导电通道形成的随机性,为忆阻器性能的提升优化提供了方法。本发明采用选旋涂法,制备方法简单,成本较低,在非易失性存储器、存算一体器件、神经突触模拟等领域应用广泛,有利于探索性能优异的阻变器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 多枝状类 雪花 结构 金属 卤化物 钙钛矿忆阻器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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