[发明专利]用于表面声波器件的复合基板及其制造方法在审
| 申请号： | 202010561198.6 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112152587A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 丹野雅行;秋山昌次 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/08;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张莉;王刚 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供了具有改善的特性的用于表面声波器件的复合基板。根据本发明的用于表面声波器件的复合基板被配置为包括压电单晶基板和支撑基板。在压电单晶基板与支撑基板之间设置中间层，该中间层中的化学吸附水的量为1×10 |
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| 搜索关键词： | 用于 表面 声波 器件 复合 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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