[发明专利]选择性发射极太阳能电池的制备方法及太阳能电池

摘要

本发明公开了一种选择性发射极太阳能电池的制备方法，其包括：提供硅片，对硅片进行制绒、扩散；然后采用激光对扩散后的硅片正面进行重掺杂，形成多个主栅掺杂区和多个副栅掺杂区；刻蚀去除磷硅玻璃和边缘PN结；正面形成减反膜，背面形成钝化膜；在镀膜后的硅片主栅掺杂区形成主栅电极，副栅掺杂区形成副栅电极，硅片背面形成背面电极；烧结；得到选择性发射极太阳能电池成品。相应的，本发明还公开了一种选择性发射极太阳能电池。实施本发明，可扩大重掺杂区域，降低扩散层复合，提升太阳能电池效率。