[发明专利]一种石墨坩埚及其制备方法在审
| 申请号： | 202010548109.4 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111732448A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;钟健;钟其龙;刘崇志;张本义;姜政余 | 申请（专利权）人： | 璨隆科技发展有限公司;阿克苏爱矽卡半导体技术研发有限公司;新疆璨科半导体材料制造有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87;C30B23/00;C30B29/36;C04B35/56;C04B35/622 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 罗恒兰 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨坩埚及其制备方法，其通过在石墨坩埚内形成碳化铌膜层，来减少石墨坩埚中碳元素参与到晶体的生产过程，进而抑制晶体石墨化。而在石墨坩埚上制备碳化铌时，利用超声波将氧化铌附着到坩埚上，然后利用现有的长晶炉对坩埚进行热碳还原处理，进而在石墨坩埚上形成碳化铌膜层。该制备过程简单，利用现有的长晶炉即可完成，制备成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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