[发明专利]衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法在审
申请号: | 202010533330.2 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN112578491A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 张志圣;蔡孟珂;盛崇恺 | 申请(专利权)人: | 奇景光电股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 韩宏 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种衍射光学元件与衍射光学元件的制造方法。此衍射光学元件包含基底、第一衍射结构层以及第二衍射结构层。此基底具有第一表面以及相对第一表面的第二表面。第一衍射结构层设置于基底的第一表面上。第二衍射结构层设置于基底的第二表面上。在衍射光学元件的制造方法中,首先提供基底。然后,形成第一胶材层/第一半导体层于基底的第一表面上,并对其图案化。接着,形成第二胶材层/第二半导体层于基底的第二表面上,并对其图案化。 | ||
搜索关键词: | 衍射 光学 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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