[发明专利]一种衍射光栅在线检测装置在审
| 申请号： | 202010529014.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111610006A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 周敢;张邦武 | 申请（专利权）人： | 腾景科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/28 |
| 代理公司： | 福州盈创知识产权代理事务所(普通合伙) 35226 | 代理人： | 吴德兰 |
| 地址： | 350015 福建省福州市马尾科技园*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衍射光栅在线检测装置，涉及光学加工领域，包括衍射光栅、光源、分束器、棱镜，衍射光栅上设有刻槽面，刻槽面上设有刻槽线，刻槽线与参考面之间设有光栅角；光源发射的光经由分束器分成三束平行光，分束器与参考面垂直，棱镜的两个反射面也与参考面垂直。本发明在衍射光栅上设置刻槽线，通过分束器将光源分成三束平行的光束，利用第一光束在衍射光栅上产生的两条衍射光，第二光束和第三光束在棱镜反射面作用下产生第一反射光和第二反射光的，将衍射光的传播方向与反射光的传播方向进行对比，从而精确的判断光栅刻槽方向与参考面之间的关系，利用新颖的光路设计，实现对衍射光栅精确定位的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 在线 检测 装置 | ||
【主权项】：
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