[发明专利]一种全量程真空计及其测试方法在审
| 申请号： | 202010525596.2 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111595511A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;吴学忠;侯占强;王呈祥;邝云斌;徐强;陈志华;李长虹 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学;湖南天羿领航科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/22 | 分类号： | G01L21/22 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 邱轶 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种全量程真空计及其测试方法。所述真空计包括：敏感模块、控制模块以及数据处理模块，敏感模块包括多个尺寸互异的敏感单元，在控制模块输出的不同的测试模态驱动下，利用敏感单元分别采用频率响应法、频率漂移法测量测量低真空和中真空的测试区间，利用多个尺寸互异的敏感单元，采用衰减法和PID控制法测量高真空的测试区间，数据处理模块持续采集敏感单元在不同测试模态下的输出参数，根据输出参数计算测试环境的实际压力值。采用本方法能够实现真空度的全量程测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 真空计 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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