[发明专利]AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺有效
| 申请号： | 202010524524.6 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111621752B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;林伟;刘迁;刘艳梅;阎兵;彭勇 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/02;B82Y30/00 |
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| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层纳米复合涂层的制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术镀膜，靶材选取金属Cr靶、AlCr靶、AlCrSi靶。镀膜前先通入氩气辉光放电清洗，随后开启Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后沉积CrN过渡层，最后通入氮气和氧气作为反应气体，交替开启AlCrSi靶和AlCr靶，依次往复沉积AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层。本发明制备的多层纳米复合涂层工艺简单，涂层组织结构致密、涂层与基体间结合力强，具有较高的硬度和强度，良好的耐磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | alcrsin alcrn alcron 多层 纳米 复合 涂层 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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