[发明专利]悬臂式薄膜探针卡

摘要

本发明公开一种悬臂式薄膜探针卡，包含载体、支撑层及薄膜片。所述载体形成有开孔；所述支撑层包含安装于载体的支撑段及自支撑段间隔地延伸且悬吊于开孔一侧的多个独立弹性段。所述薄膜片包含承载层、多条信号线路及多个导电凸块。所述承载层界定有外接段、分别形成于多个所述独立弹性段上的多个作动段及连接所述外接段与多个所述作动段的延伸段。所述延伸段的局部固定于所述支撑层。多条信号线路设置于所述承载层上且分别自多个作动段朝向外接段延伸所形成。多个所述导电凸块分别形成于位在多个所述作动段的多条信号线路的部位。据此，所述悬臂式薄膜探针卡具备现有悬臂式探针功能且利于生产及维护更换、并有效地降低生产与维修成本。