[发明专利]用于产生电子束的设备和透射电子显微镜设备有效
| 申请号: | 202010518232.1 | 申请日: | 2016-10-20 |
| 公开(公告)号: | CN111508804B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
| 发明(设计)人: | O·J·卢伊坦 | 申请(专利权)人: | 埃因霍温科技大学 |
| 主分类号: | H01J37/06 | 分类号: | H01J37/06;H01J37/063;H01J37/073;H01J37/26;H01J37/285 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址: | 荷兰埃*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 一方面,本发明提供了一种在透射电子显微镜设备中产生电子束的方法。该方法包括:通过脉冲电子源[300]产生电子脉冲[306],在第一谐振微波空腔[302]中加速所述电子脉冲,使加速的电子脉冲穿过漂移空间[314],以及通过操作第二谐振微波空腔与所述第一谐振空腔[302]异相90度来在所述第二谐振微波空腔[304]中校正加速的电子脉冲的能量扩展。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 产生 电子束 设备 透射 电子显微镜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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