[发明专利]精密金属掩膜板及具有其的掩膜板组件有效
| 申请号： | 202010513249.8 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111455314B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 毕娜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L21/033;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 刘继昂 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精密金属掩膜板及具有其的掩膜板组件，包括：有效显示区域；两个焊接区域，所述两个焊接区域分别位于所述有效显示区域的长度方向上的两侧，至少一个所述焊接区域为设定焊接区域，所述设定焊接区域上设有第一通孔。根据本发明的精密金属掩膜板，通过在设定焊接区域设置第一通孔，有利于平均张网拉伸过程中精密金属掩膜板的应力分布，降低焊接区域的褶皱风险，从而保证焊接精度，减少虚焊的情况，提高蒸镀的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 金属 掩膜板 具有 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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