[发明专利]反应器组件、涂覆方法、涂覆物品及其用途有效
| 申请号: | 202010507597.4 | 申请日: | 2020-06-05 |
| 公开(公告)号: | CN112048712B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
| 发明(设计)人: | 马尔科·普达斯 | 申请(专利权)人: | 皮考逊公司 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C08F10/00;C08F4/02;C08F4/26 |
| 代理公司: | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人: | 王晖;刘书芝 |
| 地址: | 芬兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及反应器组件、涂覆方法、涂覆物品及其用途。提供了一种化学沉积反应器组件,配置成用于通过化学沉积在诸如多孔材料等的流体可渗透材料的表面上形成涂层,所述反应器组件包括反应室,配置成至少部分地接收具有待涂覆的目标表面的流体可渗透基底;至少一个反应性流体吸入管线,配置成将反应性流体流传递入所述反应室,以及具有至少一个封闭部分的惰性流体递送器具,所述封闭部分配置成将惰性流体流通过所述基底朝向所述基底的目标表面传递,使得所述惰性流体流在所述表面处遇到所述反应性流体流,从而在所述流体可渗透基底的目标表面处形成涂层。 | ||
| 搜索关键词: | 反应器 组件 方法 物品 及其 用途 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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