[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制作方法、以及滤波器在审
| 申请号： | 202010506449.0 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111654257A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 万少波;赵坤丽;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种薄膜体声波谐振器及其制作方法、以及滤波器，该薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的衬底、第一电极、压电层和第二电极；衬底、压电层和第一电极之间形成有空腔，第一电极和压电层分别形成空腔相对两侧的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁表面和第二侧壁表面中的其中一个为平面，另一个为曲面，从而能有效改善空腔侧壁附近的裂纹现象，提高现有薄膜体声波谐振器的Q值，改善滤波器的带内插损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制作方法 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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