[发明专利]一种微通道板的三氧化二铝防离子反馈膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010492071.3 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN111613500B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 赵银女;闫金良;闫慧龙 | 申请（专利权）人： | 鲁东大学 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J43/24;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264025 山东省烟台*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微通道板的三氧化二铝防离子反馈膜的制备方法，技术方案包括用室温镓基液态合金作为溶剂，将高纯铝粉加入室温镓基液态合金中形成室温含铝镓基液态合金，室温含铝镓基液态合金暴露在空气环境中在液态合金‑空气界面形成亚纳米三氧化二铝薄膜，用微通道板输入面接触三氧化二铝薄膜，在微通道板上制备高质量的亚纳米三氧化二铝防离子反馈膜。其能够防止微通道板的离子反馈，延长光电成像器件的使用寿命，改善成像背景。本发明具有方法简单、成本低和不需要薄膜沉积设备等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 氧化 二铝防 离子 反馈 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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