[发明专利]一种应用于中红外波段的悬空型边缘耦合器有效
| 申请号： | 202010487984.6 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN111679364B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王书晓;王庆;蔡艳;余明斌;王曦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯;黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用于中红外波段的悬空型边缘耦合器，包括三端口倒锥形耦合器(1)、悬空脊型波导(2)和悬梁臂支撑结构(3)。本发明通过独特的结构设计增大了耦合效率，同时增大了工艺容差，也为测试带来了极大的方便，解决了中红外波段波导‑光纤耦合损耗大的问题，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 红外 波段 悬空 边缘 耦合器 | ||
【主权项】：
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