[发明专利]连续式不锈钢卷真空镀膜装置及方法

摘要

本发明提出一种连续式不锈钢卷真空镀膜装置，包括放卷装置、加热装置、清洗装置、镀膜装置、冷却纠偏装置、光谱检测仪、收卷装置和真空镀膜室，本发明的方法将所有待生产的材料及上述设备全部置于真空环境下，生产过程中不需要多次抽放真空，通过连续的收、放卷装置生产，大大节约了人力，又因为不需要重复的抽取真空，电能、耗材的消耗相比于单张生产大大降低，本设计中安装有最新的在线检测装置，能持续对所镀膜层的各项指标进行监控，通过工艺闭环控制，得到连续稳定的膜层。通过连续的收放卷装置生产，降低了对电能及耗材的消耗，提升了产品质量及稳定性，适合大批量生产。