[发明专利]一种太阳能电池表面钝化膜生产工艺

摘要

本发明的目的是提供一种太阳能电池表面钝化膜生产工艺，包括：上料装置将未镀膜的硅片上料；移载装置将未镀膜的硅片上移送至空的石墨板上；扁平吸盘到位后，石墨舟驱动电机驱动石墨舟经第一滑动机构升降，便于扁平吸盘放置硅片；放置好后，扁平吸盘再将另一石墨板上的已镀膜完成的硅片移送至传输装置中；传输装置将已镀膜完成的硅片移送至上料装置的另一端。本发明可在同一设备中可完成提升开压的隧穿氧化钝化薄膜和减反射膜的制备，采用伯努利吸盘可避免镀膜划伤问题；同时石墨板上硅片定位机构可减少卡点印、硅片变形、碎片率高等问题。