[发明专利]一种铜旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010451975.1 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111455371B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 余芳;朱刘;童培云;文崇斌;白平平 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C23C14/14;C23C14/34;B24C1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铜旋转靶材的制备方法。所述铜旋转靶材的制备方法包括以下步骤：(1)制备铜粉末；(2)对背管进行表面喷砂处理；(3)将喷砂处理后的背管安装在机架上，机架带动背管旋转和沿轴向运动，设定冷喷涂工艺参数，通过喷枪将所述铜粉末喷涂至背管的表面形成铜涂层，铜涂层达到所需厚度后，得到铜旋转靶材。本发明制备的铜旋转靶材的相对密度高，涂层厚度可调，铜粉综合上粉率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
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