[发明专利]一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010451953.5 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111560590A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;李世磊;王金淑;周帆;杨韵斐;张小可;胡志凯;刘乐奇 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/10;B22F3/105;B22F5/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，属于合金靶材制备技术领域。采用亚微米锇粉为原料利用微波烧结，以碳化硅、氧化锆作为辅助加热材料，氧化铝作为保温材料，升温速率在20‑30min/℃之间，整个烧结过程的功率都在2Kw以下。微波烧结升温速度快，在较短时间内可以升到较高的温度。微波与生坯耦合，整体加热，可以有效控制烧结坯晶粒长大并大大缩短烧烧结时间，获得相对较高致密度的细晶靶材。在微波烧结1500℃，保温60min下，获得的靶材样品致密度达到94％以上，晶粒尺寸在2μm左右。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 烧结 阴极 覆膜用靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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