[发明专利]一种用于微位移平台的纳米定位控制系统有效
| 申请号： | 202010435495.6 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111879242B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 杨志韬;宋显华 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/02;G01N21/552 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 荣玲 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微位移平台的纳米定位控制系统。将扫描探头和扫描平台在控制器控制下向待测材料表面移动到1微米以内时，定位传感器的SPR信号将发生变化，通过SPR信号实时计算两个平面之间的距离d,当d达到扫描距离要求时，传感器发出反馈信号，反馈信号传给上位机，上位机再将信号传给控制器，此信号控制扫描平台停止移动，从而实现根据扫描探头到待测材料表面之间的距离进行的纳米定位的目的。本发明可实扫描探头与待测材料之间距离的纳米级定位闭环控制，从而实现扫描探头的非接触式扫描测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 位移 平台 纳米 定位 控制系统 | ||
【主权项】：
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