[发明专利]玻璃基板的异物检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 202010424206.2 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN111474599A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 吴瑞习 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刁文魁 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种玻璃基板的异物检测装置及其检测方法。检测装置包括自动光学检查模块及警示单元。自动光学检查模块设置于阵列测试仪的入口处的外框，用于检测放置在外框包围的通道内的玻璃基板的表面是否存在异物。警示单元设置于阵列测试仪上且电性连接自动光学检查模块。当自动光学检查模块检测到玻璃基板上的异物的大小超过预定阀值时，警示单元控制阵列测试仪停止运作且提供警报。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 异物 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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