[发明专利]一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统在审
| 申请号： | 202010423107.2 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN111561928A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 卞经纬 | 申请（专利权）人： | 无锡市伍豪机械设备有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;C25D1/00 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 姬颖敏 |
| 地址： | 214161 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS惯性传感器及其制造方法和控制系统，其特征在于，MEMS惯性传感器包括密封盖，质量块，弹性粱，可动电极，固定电极和衬底，该MEMS惯性传感器通过光刻、电铸、溅射、键合等工艺完成制造，包含MEMS惯性传感器的控制系统还包括差分电容检测器，调制解调器和低通滤波器。本发明制造的MEMS惯性传感器具有低误差，高精准度，运行稳定的特点，包含MEMS惯性传感器的控制系统具有较高的信噪比和线性性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 惯性 传感器 及其 制造 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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