[发明专利]一种针对干涉光谱测量系统的逐行标定方法在审
申请号: | 202010418291.1 | 申请日: | 2020-05-18 |
公开(公告)号: | CN111537449A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 郭彤;赵冠华;翁倩文;孙长彬 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01N21/25 | 分类号: | G01N21/25;G01N21/45 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘玉珠 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及干涉光谱成像系统技术领域,尤其涉及一种针对干涉光谱测量系统的逐行标定方法,与现有的技术相比,由于干涉信号在经过分光元件和成像系统之后会在面阵数字相机的不同行位置会产生成像畸变,同样地所使用的标定单色光光束也会因为干涉光谱成像系统的成像效果产生相同程度的畸变,通过文中提出的使用逐行标定的方法可以实现对于不同空间位置由于畸变带来的像素‑波长对应关系的补偿,从而消除在还原样品表面形貌的过程中因为像素‑波长对应关系标定的失真带来的误差影响,提高干涉光谱成像系统的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 针对 干涉 光谱 测量 系统 逐行 标定 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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