[发明专利]一种双本征层钝化的异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种双本征层钝化的异质结太阳能电池及其制备方法。所述太阳能电池包括晶体硅片，晶体硅片的一侧依次设有第一本征层、第二本征层、第一掺杂非晶硅层、第一透明导电层及第一电极，晶体硅片的另一侧依次设有第二电极。制备方法为：在晶体硅片的一侧形成第一本征层；对第一本征层进行氢钝化；然后形成第二本征层、第一掺杂非晶硅层、第一透明导电层、第一电极、第二电极等。本发明由于采用第一本征层以及第二本征层，从而有效提高了本征层的结构性质，提高了异质结太阳能电池的开路电压，增幅可达0.02V。