[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

摘要

本公开提供一种基板处理装置和基板处理方法，以抑制数据量并获得高吞吐量的方式设定在基板处理装置中能够搬送基板的搬送时间表。该基板处理装置构成为具备：多个单位块；主搬送机构，其设置于单位块的各搬送线路，相互独立地在多个模块间搬送基板；搬入搬出用搬送机构，其在保存基板的承载件与所述各单位块之间交接基板，从而向各单位块搬入搬出所述基板；存储器，其存储每个单位块的过去的基板的搬送历史的数据；以及设定部，当将主搬送机构绕搬送线路一周的时间设为循环时间时，基于基板的搬送历史的数据对每个单位块更新循环时间，并基于更新后的该循环时间来设定各单位块中的所述基板的搬送时间表。