[发明专利]晶圆检测红外光转向机构及方法在审
| 申请号： | 202010400819.2 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111692977A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 淦克金;杨铮;吴志锋 | 申请（专利权）人： | 苏州舜治自动化机械设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 215156 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆检测红外光转向机构及方法，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。本发明晶圆检测红外光转向机构同时兼容反射与透射功能为一体，用于检测晶圆的厚度与碳氧含量，程序上自动切换，无需手动操作，提高生产质量与效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 红外光 转向 机构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州舜治自动化机械设备有限公司，未经苏州舜治自动化机械设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010400819.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
