[发明专利]一种面向柔性电子制造的高效芯片贴装设备有效
| 申请号: | 202010397498.5 | 申请日: | 2020-05-12 |
| 公开(公告)号: | CN111584398B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
| 发明(设计)人: | 陈建魁;付宇;黄永安;杨华 | 申请(专利权)人: | 武汉国创科光电装备有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429 | 代理人: | 齐海迪 |
| 地址: | 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区左岭镇左岭路*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种面向柔性电子制造的高效芯片贴装设备,包括支撑单元以及安装于支撑单元上的基板吸附单元、顶针单元、晶圆移动单元、连续翻转单元、第一贴装单元和第二贴装单元;连续翻转单元位于晶圆移动单元的上方,且该连续翻转单元位于第一贴装单元和第二贴装单元之间并用于从晶圆上连续拾取芯片并转移至该第一贴装单元或该第二贴装单元,该连续翻转单元通过其内部各个结构的相互配合可以实现对芯片的周期性拾取、翻转以及释放。本发明可通过同一个连续翻转单元对至少两个贴装单元提供贴装用的芯片,使得本发明不但实现了不间断的翻片和贴片的作用,且结构简单。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 面向 柔性 电子 制造 高效 芯片 装设 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





