[发明专利]一种面向柔性电子制造的高效芯片贴装设备有效

专利信息
申请号: 202010397498.5 申请日: 2020-05-12
公开(公告)号: CN111584398B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 陈建魁;付宇;黄永安;杨华 申请(专利权)人: 武汉国创科光电装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 东莞卓为知识产权代理事务所(普通合伙) 44429 代理人: 齐海迪
地址: 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区左岭镇左岭路*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种面向柔性电子制造的高效芯片贴装设备,包括支撑单元以及安装于支撑单元上的基板吸附单元、顶针单元、晶圆移动单元、连续翻转单元、第一贴装单元和第二贴装单元;连续翻转单元位于晶圆移动单元的上方,且该连续翻转单元位于第一贴装单元和第二贴装单元之间并用于从晶圆上连续拾取芯片并转移至该第一贴装单元或该第二贴装单元,该连续翻转单元通过其内部各个结构的相互配合可以实现对芯片的周期性拾取、翻转以及释放。本发明可通过同一个连续翻转单元对至少两个贴装单元提供贴装用的芯片,使得本发明不但实现了不间断的翻片和贴片的作用,且结构简单。
搜索关键词: 一种 面向 柔性 电子 制造 高效 芯片 装设
【主权项】:
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