[发明专利]设备及方法在审
| 申请号： | 202010396811.3 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN112786423A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | O·安塞尔;H·戈登-莫伊斯 | 申请（专利权）人： | SPTS科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请案涉及一种设备及一种方法。本申请案在至少一些其实施例中提供一种即使在掩模的敞开区域的分率低(例如小于约1％)时也适于通过提供强终点信号来确定蚀刻终点的设备。在至少一些实施例中，本申请案进一步提供跨衬底的宽区域具代表性的终点信号。在至少一些实施例中，本申请案可在高纵横比特征或沟槽的底部处显露的特征的情况下进一步提供强终点信号。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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