[发明专利]一种含有机硅烷废气废液焚烧系统及工艺

摘要

本发明公开了一种含有机硅烷废气废液焚烧系统及工艺，涉及废气、废液的焚烧处理技术领域，含有机硅烷废气废液焚烧系统，包括依次连接的一次焚烧室、二次焚烧室和尾气净化装置，含有机硅烷废气经废气预处理装置送入一次焚烧室，含有机硅烷废液经高压雾化装置送入一次焚烧室，废气预处理装置包括依次连接的喷淋水洗塔、冷凝器、水封罐和阻火器，喷淋水洗塔的废气进口Ⅰ通入外部含有机硅烷废气，废气进口Ⅱ和废气出口Ⅰ连接废气缓存罐，废气出口Ⅱ连接冷凝器，废气出口Ⅲ连接活性炭吸附罐；冷凝器另通过气体检测仪连接活性炭吸附罐。本发明采用废气预处理工艺，生产系统的稳定性得到改善，以副产物的形式回收烟气中的氯硅烷、氯化氢和二氧化硅等。