[发明专利]陶瓷基板皮秒激光钻孔装置及方法在审
| 申请号： | 202010393369.9 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN111496396A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 张轲;龚朋真 | 申请（专利权）人： | 苏州优快激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/402;B23K26/70;B23K26/08 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 215335 江苏省苏州市昆山市昆山开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种陶瓷基板皮秒激光钻孔装置及方法，包括：皮秒激光发生器(1)、振镜切割头(2)、主控制器(3)、视觉定位观察部件(5)、Z轴切割头升降滑台(8)、回旋平台(9)、工作平台(15)以及基板构件；所述激光发生器(1)与振镜切割头(2)采用光纤相连；所述主控制器(3)与激光发生器(1)、振镜切割头(2)、回旋平台(9)相连；所述Z轴切割头升降滑台(8)中心线所在平面与工作平台(15)中心线所在平面相互垂直。本发明采用皮秒激光切割边缘光滑，圆度好、锥度更小、碎裂几率低，边界热影响区几乎没有，边缘不发黄，对陶瓷基板几乎无损伤，良品率大大提高，特别适合当前的5G陶瓷基板的高精度应用。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 基板皮秒 激光 钻孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
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