[发明专利]一种单晶硅掺杂方法及单晶硅制造方法在审
| 申请号： | 202010388875.9 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN113622017A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王建波;周锐;邓浩;李侨;付泽华;张龙龙;徐战军;张永辉;张伟建 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种单晶硅掺杂方法及单晶硅制造方法，该方法包括：将硅料和第一重量的掺杂剂加入坩埚中，生长第一单晶硅；在第一单晶硅生长的收尾阶段完成后，按照预设转速调节坩埚的转速，以及按照预设功率调节加热器的功率，其中，预设转速与引晶阶段坩埚的转速之差的绝对值小于等于第一阈值，预设功率与引晶阶段加热器的功率之差的绝对值小于等于第二阈值；将第二重量的掺杂剂加入坩埚中，生长第二单晶硅；其中，在第一单晶硅和第二单晶硅的生长过程中，向坩埚中动态加入硅料，以使任一时刻坩埚内的硅料重量为预设重量。本发明实施例的方法可以有效控制掺杂剂的量，提高掺杂剂的利用效率，可以解决单晶硅的头尾部电阻率分布不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 掺杂 方法 制造 | ||
【主权项】：
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