[发明专利]一种表面耦合诱导电离技术及其对应的等离子体与等离子体器件有效
| 申请号： | 202010383599.7 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111479375B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 张麟德 | 申请（专利权）人： | 高维等离子体源科技（孝感）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/46 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 432000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面耦合诱导电离技术，包含以下任意一个步骤：(1)通过自由空间或波导将第一束电磁波馈入至材料上，励激起表面等离子体波；材料表面引入待电离的目标分子，通过控制相互作用，使目标分子的电子与材料上的表面等离子体激元发生耦合，诱导目标分子电离；(2)同步通过自由空间或波导，再将第二束及后续的电磁波馈入至材料表面上目标分子的电离区域，使电离后的目标分子吸收，提高目标分子的电离程度；(3)目标分子以体相等离子体的形式释放，实现表面耦合诱导电离。本发明还公开了一类等离子体器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 耦合 诱导 电离 技术 及其 对应 等离子体 器件 | ||
【主权项】：
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