[发明专利]一种激光光束角度偏移探测装置在审
申请号: | 202010381324.X | 申请日: | 2020-05-08 |
公开(公告)号: | CN111596268A | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 李涛;张昊伟;梁洋洋;王楠;李国强 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | G01S7/40 | 分类号: | G01S7/40 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 付秀颖 |
地址: | 250013 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光光束角度偏移探测装置,包括分束器、平凸透镜、平面反射镜和两台二维位置探测器,所述分束器上方、下方、右方分别设有平面反射镜;所述分束器与其右侧平面反射镜之间设有平凸透镜,分束器下方还设有二维位置探测器一和二维位置探测器二,所述平凸透镜、平面反射镜和二维位置探测器二安装要求为分束器滤过的光束经过平凸透镜、平面反射镜和二维位置探测器二时的光程等于平凸透镜的焦距,即保证二维位置探测器的探测面与平凸透镜的焦平面重合。其优点在于,凸透镜消除空间平移偏移带来的误差,将微小的角度偏移通过平凸透镜放大成为二维位置探测器上一个长度偏移量,通过高精度二维位置探测器实现更高精度的角度偏移探测。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 光束 角度 偏移 探测 装置 | ||
【主权项】:
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