[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010374020.0 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111697937A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 汤喜友 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，包括从下至上依次分布的转移衬底、键合层、填平层、底电极、压电薄膜和顶电极；通过压电薄膜、底电极与顶电极第一层形成三明治结构，并在转移衬底上形成凹槽，使得底电极、键合层与转移衬底之间形成空气腔；通过空气腔可使得压电薄膜产生的体声波，并在底电极的表面发生全反射，从而被限制在顶电极第一层与底电极之间，实现谐振器功能；同时通过在顶电极第一层上设置顶电极第二层和顶电极第三层，分别用于优化薄膜声波谐振器的串联谐振点、并联谐振点，消除寄生效应，提高了品质因数。本发明还公开了一种薄膜体声波谐振器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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