[发明专利]一种具有屏蔽结构的半导体封装及其制备方法在审
申请号: | 202010372693.2 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN111524876A | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 赵慧 | 申请(专利权)人: | 苏州容思恒辉智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/552 | 分类号: | H01L23/552;H01L21/56;H01L23/31 |
代理公司: | 佛山粤进知识产权代理事务所(普通合伙) 44463 | 代理人: | 张敏 |
地址: | 215011 江苏省苏州市高新区竹*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有屏蔽结构的半导体封装及其制备方法,包括以下步骤:对半导体晶圆进行切割以形成单个的半导体管芯,在承载基材上设置多个所述半导体管芯,在所述承载基板上沉积电介质材料以形成电介质层,接着在所述承载基材上依次形成第一复合屏蔽层、第一树脂封装层、第二复合屏蔽层、第二树脂封装层、第三复合屏蔽层以及所述承载基板上形成第三树脂封装层。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 屏蔽 结构 半导体 封装 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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