[发明专利]测试设备在审
| 申请号： | 202010368026.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111965516A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 阿基·朱内斯;阿里·库卡拉;蒂莫·萨尔米宁;维萨·亨通宁;马蒂·曼宁;大卫·贡纳森;莱夫·罗斯切尔 | 申请（专利权）人： | 艾伏有限公司;布鲁弗斯低温学有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 芬兰瓦基*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于对晶圆(102)上的集成电路进行电气测试的测试设备(100)。测试设备(100)包括：真空腔室(124)；用于保持晶圆(102)的卡盘(101)；用于电气接触集成电路的探针卡(103)；用于使卡盘(101)相对于探针卡(103)移动的移动装置；布置在真空腔室(124)内侧并且包封卡盘(101)和探针卡(103)的第一辐射屏蔽件(110)；以及热连接到第一辐射屏蔽件(110)的冷却单元(126)。用于使卡盘(101)相对于探针卡(103)移动的装置包括具有第一端部和第二端部的支撑柱(107、201、202、203)，支撑柱(107、201)的第一端部附接到卡盘(101)，并且第一辐射屏蔽件(110)包括第一固定零件(111)和第一可移动零件(112)，第一固定零件(111)具有支撑柱(107、201)布置成穿过其的第一孔口(113)，第一可移动零件(112)附接到支撑柱(107、201、202)并且布置成覆盖第一孔口(113)。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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