[发明专利]一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法有效
| 申请号: | 202010363354.8 | 申请日: | 2020-04-30 |
| 公开(公告)号: | CN111441020B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
| 发明(设计)人: | 王伟;王萌;蔡军;张卫强;张志波;朱羽;张浩泽;史亚鸣;黄海广;王快社 | 申请(专利权)人: | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;B21B1/38;B21B3/00;B21B37/00 |
| 代理公司: | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人: | 李婷;祁凡雨 |
| 地址: | 710055*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法,属于金属材料加工技术领域。通过三火次等温轧制的方法,将EB炉熔炼TC4钛合金铸锭沿着长度方向进行单向轧制,总压下量为86%‑90%。该发明不仅简化了传统钛合金加工工艺流程,有效降低了生产成本,而且制备得到的TC4钛合金靶材致密度好、显微组织均匀,力学性能满足国际标准的要求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 低成本 制备 tc4 钛合金 溅射 方法 | ||
【主权项】:
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