[发明专利]柔性导电卷材的生产加工系统及制备工艺在审
| 申请号： | 202010362137.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113584454A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 魏鼎 | 申请（专利权）人： | 深圳市元子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/20;C23C14/16;C25D3/38;C25D7/06;C23C28/02;C25D17/00 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 刘昌刚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了柔性导电卷材的生产加工系统及制备工艺，涉及基材镀膜领域；该生产加工系统包括第一真空镀膜装置，用于在薄膜基材表面形成磁控溅射镀膜；第二真空镀膜装置，位于第一真空镀膜装置后方，用于在磁控溅射镀膜上形成第一金属镀层；第一水镀装置，位于第二真空镀膜装置后方，采用碱性水镀设备，在第一金属镀层上形成过渡金属镀层；第二水镀装置，位于第三真空镀膜装置后方，采用酸性水镀设备，在第一金属镀层上形成增厚金属镀层；本发明的有益效果是：能够避免蒸镀工艺的高温因素对膜面串泡和孔洞的影响，可以有效的解决串泡问题，同时解决原蒸镀工艺的高温金属微粒将基膜击穿的孔洞问题。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 导电 卷材 生产 加工 系统 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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