[发明专利]一种化学机械平坦化设备有效
| 申请号： | 202010352868.3 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111673607B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 费玖海;刘福强 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 唐岩 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种化学机械平坦化设备。包括研磨组件、冲刷单元和传输组件，研磨组件用于研磨加工件，其包括多个研磨机构，每个研磨机构上分别设置有适于抓取加工件的连接臂，相邻研磨机构设置有不同规格的研磨垫；相邻研磨机构间设有第二装载位，连接臂适于将加工件在第二装载位及研磨机构之间进行转移；冲刷单元设在研磨机构与第二装载位之间，用于清洗加工件；传输组件包括有机械手以及传输轨道，机械手适于将加工件在研磨机构与传输轨道之间进行转移。该设备在工作时，相邻研磨机构设置有不同规格的研磨垫，因此可一次实现对同一加工件的多种规格研磨，研磨效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 平坦 设备 | ||
【主权项】：
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