[发明专利]基于驻极体发电机的放电测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 202010336344.5 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111413569B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王盛凯;陈思婷;姚沛林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于驻极体发电机的放电测试装置及其测试方法，基于驻极体发电机的放电测试装置包括：驻极体发电机，用于输出高压直流脉冲；冲击电容，与驻极体发电机连接形成充电回路；测试平台，用于连接一被测器件；火花间隙，与测试平台、冲击电容连接形成放电回路，用于产生稳定波形的浪涌；其中，在测试过程中，通过冲击电容和火花间隙对驻极体发电机输出的高压直流脉冲进行调控，对被测器件提供模拟静电放电测试条件。本发明采用驻极体发电机供电并利用火花间隙击穿模拟自然界中静电对被测器件的释放的情况，用以检测被测器件的可靠性及失效分析。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 驻极体 发电机 放电 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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