[发明专利]一种多级整流MEMS燃气流量计在审
| 申请号: | 202010333708.4 | 申请日: | 2020-04-24 |
| 公开(公告)号: | CN111397678A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
| 发明(设计)人: | 汪国庆 | 申请(专利权)人: | 新聚(徐州)安全科技有限公司 |
| 主分类号: | G01F1/76 | 分类号: | G01F1/76;G01F15/00;F15D1/02;F16L58/02 |
| 代理公司: | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人: | 王振佳 |
| 地址: | 065000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种多级整流MEMS燃气流量计,属于流量计装置技术领域。多级整流MEMS燃气流量计包括依次设置的均流段、混合段、多孔直管段、过渡段和出气通道,过渡段和出气通道之间设置有顺流块。均流段上设置有中心进气孔和边孔,多孔直管段上均匀的设置有若干个通气孔一,顺流块上均匀的设置有若干个通气孔二。过渡段与出气通道之间还设置有将过渡段和出气通道连通的旁路,旁路与过渡段通过进气管路连通,旁路与出气通道通过出气管路连通;旁路的外部套设有基板,基板上设置有MEMS质量流量传感器,MEMS质量流量传感器位于旁路内。本发明采用上述结构的多级整流MEMS燃气流量计,能够解决现有的燃气流量计整流效果差、测量精度低、抗污染能力差的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多级 整流 mems 燃气 流量计 | ||
【主权项】:
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