[发明专利]一种应变传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010301342.2 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113532257B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 吴伟灿;曾中明;蔡佳林;张黎可;林文魁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;H10N50/10;H10N50/85;H10N50/01 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种应变传感器，包括柔性衬底及依序层叠设置于柔性衬底上的第一电极层、磁隧道结器件和第二电极层；其中，磁隧道结器件的电阻随着应变传感器所受应变的变化而改变。本发明还公开了上述应变传感器的制作方法。本发明解决了现有的应变传感器电阻变化率较小、并且随着使用时间传感性能变差，最终导致无法正常工作的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应变 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010301342.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种服务编排方法和装置
- 下一篇：靶向CD22的嵌合抗原受体及其制法和应用
