[发明专利]MEMS交叉线、微波器件及制备方法在审
| 申请号： | 202010301228.X | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111392687A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 魏浩;贾世旺;韩威;刘巍巍;赵飞;刘晓兰;徐亚新 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张贵勤 |
| 地址： | 050081 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS交叉线、微波器件及制备方法，属于无线通信技术领域，包括第一传输线结构、第二传输线结构和MEMS桥；第二传输线结构与第一传输线结构通过互连层相连实现接地，第二传输线结构的信号传输方向与第一传输线结构的信号传输方向交叉设置；MEMS桥设置于第一传输线结构和第二传输线结构之间，用于第一传输线结构和第二传输线结构之间的信号隔离。本发明提供的MEMS交叉线，由于MEMS桥不参与信号传输，仅仅具有隔离功能，能够有效降低MEMS桥的制作成本，进而降低器件的制作成本，提高不同信号之间的隔离度，避免不同信号之间的干扰，从而提高信号传输的精度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 交叉 微波 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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