[发明专利]一种石墨舟卡点自动更换机在审
| 申请号: | 202010296747.1 | 申请日: | 2020-04-15 |
| 公开(公告)号: | CN111370356A | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 游玉成;华宁;於文轩 | 申请(专利权)人: | 盐城恒华智造科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 224700 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明属于机械技术领域,尤其涉及一种石墨舟卡点自动更换机。这种石墨舟卡点自动更换机包括有:底座、上围栏、震动盘供料装置、真空吸盘送料装置、气动压料装置、送料传动装置、压料传动装置、固定导向台、定位锁紧装置、移动送料台、限深装置以及电控装置。在使用时首先将待更换卡点的石墨舟放置在移动送料台上,然后送到固定导向台正下方,利用定位锁紧装置,使石墨舟上的卡点与固定导向台上的孔位对正,压料传动装置带动气动压料装置依次将石墨舟上的若干旧卡点卸载下,然后震动盘供料装置将一组新卡点送到指定位置,真空吸盘送料装置在送料传动装置的带动下,依次将每一组的新卡点放入到固定导向台的送料孔内,并自行滑落到石墨舟待安装新卡点的孔位上。气动压料装置再将这些新卡点压入石墨舟。与现有人工依次更换卡点方式相比,本发明的石墨舟卡点自动更换机具有如下效果:自动化程度高,操作简便,更换质量高,提高了生产效率和产品合格率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 舟卡点 自动 更换 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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