[发明专利]一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置在审
申请号: | 202010284748.4 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN111254389A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 柯学 | 申请(专利权)人: | 柯学 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/34 |
代理公司: | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 任欣生 |
地址: | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置,包括底座,底座的下端四拐角处均固定连接有支脚,底座的正面开设有第一滑槽,第一滑槽的内部上下两端均开设有限位槽,第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块,第一滑块的上下两端均固定连接有限位板,限位板均滑动连接在同侧限位槽的内部,第一滑块的正面安装有校准机构,本发明是一个校准装置,本发明的底座上设置了校准机构和夹持机构,使用时,可利用夹持机构的第一夹板和第二夹板夹住两个掩膜板其中两个对应的边角,然后利用校准机构的校准板挤压两个掩膜板远离固定板的一侧,将两个掩膜板夹在底座上,同时将两个掩膜板的边角对齐,较为方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 晶体振荡器 真空 溅射 镀膜 掩膜板 校准 装置 | ||
【主权项】:
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