[发明专利]一种大量程高频响光学共焦式测头有效
| 申请号： | 202010283381.4 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111474734B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 应荣辉;崔玉国;汪家乐;马剑强;梁丹 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B7/04;G01B11/06;G01B11/24 |
| 代理公司： | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人： | 王美荣;黄晓凡 |
| 地址： | 315211 浙江省宁波市江北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大量程高频响光学共焦式测头，包括激光器、准直扩束镜组件、偏振分光棱镜组件、λ/4波片组件和物镜，偏振分光棱镜组件在反射光路方向上连有非偏振分光棱镜组件；非偏振分光棱镜组件在透射光路方向上顺次设有第一成像透镜组件、第一针孔光阑组件和第一光电探测器组件，在反射光路上顺次设有第二成像透镜组件、第二针孔光阑组件和第二光电探测器组件；此外还有第一调节机构内和第二调节机构内；λ/4波片组件和物镜之间设有活动间隙，并且配装有电容传感器；物镜配装有能带动物镜轴向移动的位移放大组件。本发明结构简单紧凑、针孔光阑与光电探测器位置易于调节、纵向测量范围大、频率响应高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 高频 光学 共焦式测头 | ||
【主权项】：
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