[发明专利]一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010282963.0 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111473722B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 吴俊;朱迪;段升顺 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;C09D183/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 金诗琦 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法，所述传感器，包括PDMS层和导电物质层，PDMS层的顶面有裂缝一，底面有裂缝二，裂缝二贯穿导电物质层，PDMS层设置裂缝一的顶面上溅射金属层，裂缝一、裂缝二逐一对应。所述制备方法，包含以下步骤：PDMS预聚体、固化剂、正己烷搅拌，溶液真空干燥，得到PDMS旋涂剂；取导电物质水分散液加去离子水稀释，抽滤，取出滤膜；将滤膜固定在圆玻璃片上，旋涂PDMS旋涂剂，真空干燥固化；取出除去滤膜，得到覆盖导电物质层的PDMS层，雕刻裂缝一、裂缝二；将PDMS层溅射金属层；将铜箔固定，引出导线，得到双裂缝结构的柔性形变传感器。本发明的传感器，能够保证小形变下检测的高敏感度，提高传感器应变的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 裂缝 结构 柔性 形变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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