[发明专利]掩膜板及其制造方法有效
| 申请号： | 202010281455.0 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111809144B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 曾辉;胡君;朱佳玲 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 钟宗 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板及其制造方法，包括：框架，所述框架设有一镂空形成的蒸镀区域；凸台，形成于所述框架的一侧，所述凸台的沿环绕所述蒸镀区域的矩形轨迹延伸，所述凸台的至少一组对边的表面设有平行于所述对边的凹槽；填充于所述凹槽的金属层，所述金属层的表面与所述凸台的表面齐平；以及至少一个掩膜条，跨接于所述凸台的所述一组对边并且局部覆盖所述蒸镀区域，其中，所述掩膜条与所述金属层由同种金属制成，于所述掩膜条与所述凸台的所述金属层的交叉处焊接所述掩膜条和所述金属层，该金属层与掩膜条采用的相同的材质，从而保证了掩膜条和框架之间的焊接强度；框架的材质则是采用了普通的不锈钢材质，从而减少了整个蒸镀过程中的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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